Modelling of a charge control method for capacitive MEMS
Visualitza/Obre
Modelling of a charge control method for capacitive MEMS.pdf (1,725Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/22152
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2013
EditorInstitute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Abstract
Charging of dielectric materials in microelectromechanical
systems (MEMS) actuated electrostatically is a major
reliability issue. In our previous work we proposed a feedback
loop control method that is implemented as a circuit and that
allows smart actuation for switches and varactors. In this paper
we discuss system-level modeling of MEMS devices including
all aspects of the system: proposed control method, charging
dynamics and realistic models of the mechanical components of
MEMS.
CitacióGiounanlis, P. [et al.]. Modelling of a charge control method for capacitive MEMS. A: European Conference on Circuit Theory and Design. "2013 European Conference on Circuit Theory and Design (ECCTD 2013): 8-12 September 2013: Dresden, Germany". Dresden: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2013, p. 1-4.
ISBN9781479928576
Versió de l'editorhttp://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=6662324&tag=1
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Modelling of a ... od for capacitive MEMS.pdf | Modelling of a charge control method for capacitive MEMS.pdf | 1,725Mb | Accés restringit |