DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Enginyeria electrònica i telecomunicacions >
RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones >
Articles de revista >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/1798

Arxiu Descripció MidaFormat
Electrothermally actuated RF MEMS.pdf1,21 MBAdobe PDFThumbnail
Veure/Obrir

Citació: Girbau, D.; Pradell, L.; Lazaro, A.; Nebot, A. Electrothermally actuated RF MEMS switches suspended on a low-resistivity substrate. Journal of microelectromechanical systems, 2007, vol. 16, núm. 5, p. 1061-1070.
Títol: Electrothermally actuated RF MEMS switches suspended on a low-resistivity substrate
Autor: Girbau Sala, David Veure Producció científica UPC; Pradell i Cara, Lluís Veure Producció científica UPC; Lázaro Guillén, Antoni Veure Producció científica UPC; Nebot Serra, Àlvar
Editorial: IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Data: oct-2007
Tipus de document: Article
Resum: This paper presents an electrothermally actuated lateral resistive-contact switch for application to low-gigahertz-band communication systems. It was manufactured on a standard low-resistivity substrate, and its RF performance was improved by suspending the structures 25 μm from the substrate, which is a strategy for future integration with active devices in the system-on-chip concept. Measured insertion losses are−0.26 dB at 1 GHz and −0.65 dB at 6 GHz, return losses are −29 dB at 1 GHz and −25 dB at 6 GHz, and isolations are −52 dB at 1 GHz and −26 dB at 6 GHz. The device is driven by a metal electrothermal actuator, which achieves large displacements and contact forces at much lower temperatures than traditional polysilicon electrothermal actuators. The RF power handling characteristics are also addressed and measured.
ISSN: 1057-7157
URI: http://hdl.handle.net/2117/1798
Apareix a les col·leccions:RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones. Articles de revista
Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions. Articles de revista
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius