Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches.
Visualitza/Obre
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/1779
Tipus de documentArticle
Data publicació2007-06-01
EditorJOHN WILEY & SONS INC
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
In this work, a nonlinear model to predict actuation characteristics in lateral electrostatically-actuated DC-contact MEMS
switches is proposed. In this case a parallel-plate approximation cannot
be applied. The model is based on the equilibrium equation for an elastic
beam. It is demonstrated that the contribution of fringing fields is
essential. The model relies on finite-difference discretization of the
structures, applying boundary conditions and is solved with a Gauss-
Seidel relaxation iteration scheme. Its usefulness is demonstrated in a series
MEMS switch with lateral interdigital electrostatic actuation.
CitacióLazaro, A.; Girbau, D.; Pradell, L., Nebot, A. Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches. MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2007, vol. 49, núm. 6, p. 1238-1241.
ISSN0895-2477
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
4.pdf | 343,5Kb | Visualitza/Obre |