|
E-prints UPC >
Enginyeria electrònica i telecomunicacions >
RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones >
Articles de revista >
Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem:
http://hdl.handle.net/2117/1779
|
| Citació: | Lazaro, A.; Girbau, D.; Pradell, L., Nebot, A. Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches. MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2007, vol. 49, núm. 6, p. 1238-1241. |
| Títol: | Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches. |
| Autor: | Lázaro Guillén, Antoni  ; Girbau Sala, David ; Pradell i Cara, Lluís ; Nebot Serra, Àlvar |
| Editorial: | JOHN WILEY & SONS INC |
| Data: | oct-2006 |
| Tipus de document: | Article |
| Resum: | In this work, a nonlinear model to predict actuation characteristics in lateral electrostatically-actuated DC-contact MEMS
switches is proposed. In this case a parallel-plate approximation cannot
be applied. The model is based on the equilibrium equation for an elastic
beam. It is demonstrated that the contribution of fringing fields is
essential. The model relies on finite-difference discretization of the
structures, applying boundary conditions and is solved with a Gauss-
Seidel relaxation iteration scheme. Its usefulness is demonstrated in a series
MEMS switch with lateral interdigital electrostatic actuation. |
| ISSN: | 0895-2477 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2117/1779 |
| Apareix a les col·leccions: | Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions. Articles de revista
RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones. Articles de revista
|
| Comparteix: |
|
Queda prohibida la reproducció, transformació, distribució i comunicació pública d'aquesta obra. Es permet, en tot cas, la reproducció per a ús privat sempre i quan la còpia que se'n faci no sigui objecte d'utilització col·lectiva ni lucrativa (art. 31.2 del Reial Decret Legislatiu 1/1996, de 12 d'abril, pel qual s'aprova el Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual, http://bibliotecnica.upc.es/sepi/legislacio.asp).
Per a qualsevol ús que es vulgui fer diferent al permès, dirigiu-vos a: sepi@upc.edu
|
Català
Castellano
English
