DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/16137

Ítem no disponible en accés obert per política de l'editorial

Arxiu Descripció MidaFormat
Dielectric charge control in electrostatic MEMS positioners varactors.pdf928,42 kBAdobe PDF Accés restringit

Citació: Blokhina, E. [et al.]. Dielectric charge control in electrostatic MEMS positioners/varactors. "Journal of microelectromechanical systems", Juny 2012, vol. 21, núm. 3, p. 559-573.
Títol: Dielectric charge control in electrostatic MEMS positioners/varactors
Autor: Blokhina, Elena; Gorreta, Sergi; Lopez, David; Molinero Giles, David; Feely, Orla; Pons Nin, Joan Veure Producció científica UPC; Domínguez Pumar, Manuel Veure Producció científica UPC
Data: jun-2012
Tipus de document: Article
Resum: A new dynamical closed-loop method is proposed to control dielectric charging in capacitive microelectromechanical systems (MEMS) positioners/varactors for enhanced reliability and robustness. Instead of adjusting the magnitude of the control voltage to compensate the drift caused by the dielectric charge, the method uses a feedback loop to maintain it at a desired level: the device capacitance is periodically sampled, and bipolar pulses of constant magnitude are applied. Specific models describing the dynamics of charge and a control map are introduced. Validation of the proposed method is accomplished both through discrete-time simulations and with experiments using MEMS devices that suffer from dielectric charging.
ISSN: 1057-7157
URI: http://hdl.handle.net/2117/16137
DOI: 10.1109/JMEMS.2011.2182500
Apareix a les col·leccions:Altres. Enviament des de DRAC
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies. Articles de revista
Departament d'Enginyeria Electrònica. Articles de revista
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius