|
E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >
Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem:
http://hdl.handle.net/2117/15643
|
| Citació: | Gordiets, F. [et al.]. Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data. "Journal of applied physics", 24 Novembre 2011, vol. 110, núm. 103302, p. 1-8. |
| Títol: | Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data |
| Autor: | Gordiets, F.B.; Inestrosa-Izurieta, M.J.; Navarro Sentanyes, Antonio ; Bertran, Enric |
| Editorial: | American Institute of Physics (AIP) Published by American Institute of Physics |
| Data: | 24-nov-2011 |
| Tipus de document: | Article |
| ISSN: | 0021-8979 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2117/15643 |
| Versió de l'editor: | 10.1063/1.3658249 |
| Apareix a les col·leccions: | Altres. Enviament des de DRAC Departament d'Enginyeria Química. Articles de revista SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils. Articles de revista
|
| Comparteix: |
|
Aquest ítem (excepte textos i imatges no creats per l'autor) està subjecte a una llicència de Creative Commons Llicència Creative Commons
|