|
E-prints UPC >
Automàtica, robòtica i visió >
ACES - Control Avançat de Sistemes d'Energia >
Reports de recerca >
Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem:
http://hdl.handle.net/2117/119
|
| Títol: | Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. |
| Autor: | Costa Castelló, Ramon  ; Shkel, A.M.; Fargas Marquès, A. |
| Editorial: | Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials |
| Data: | set-2005 |
| Tipus de document: | External research report |
| Citació: | Reports IOC
IOC-DT-P-2005-18 |
| Resum: | Most of MEMS devices are actuated using electrostatic forces. Parallel or lateral plate
actuators are the types commonly used. Nevertheless, electrostatic actuation has some
limitations due to its non-linear nature. This work presents a methodic overview of the
existing techniques applied to the Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) electrostatic
actuation modeling and their implications to the dynamic behavior of the electromechanical
system. |
| URI: | http://hdl.handle.net/2117/119 |
| Apareix a les col·leccions: | ACES - Control Avançat de Sistemes d'Energia. Reports de recerca
|
| Comparteix: |
|
Aquest ítem (excepte textos i imatges no creats per l'autor) està subjecte a una llicència de Creative Commons Llicència Creative Commons
|
Català
Castellano
English
