DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Automàtica, robòtica i visió >
ACES - Control Avançat de Sistemes d'Energia >
Reports de recerca >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/119

Arxiu Descripció MidaFormat
DT_Andreu_Fargas 18.pdf1,14 MBAdobe PDFThumbnail
Veure/Obrir

Títol: Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005.
Autor: Costa Castelló, Ramon Veure Producció científica UPC; Shkel, A.M.; Fargas Marquès, A.
Editorial: Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials
Data: set-2005
Tipus de document: External research report
Citació: Reports IOC
IOC-DT-P-2005-18
Resum: Most of MEMS devices are actuated using electrostatic forces. Parallel or lateral plate actuators are the types commonly used. Nevertheless, electrostatic actuation has some limitations due to its non-linear nature. This work presents a methodic overview of the existing techniques applied to the Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) electrostatic actuation modeling and their implications to the dynamic behavior of the electromechanical system.
URI: http://hdl.handle.net/2117/119
Apareix a les col·leccions:ACES - Control Avançat de Sistemes d'Energia. Reports de recerca
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Aquest ítem (excepte textos i imatges no creats per l'autor) està subjecte a una llicència de Creative Commons Llicència Creative Commons
Creative Commons

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius