DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Enginyeria electrònica i telecomunicacions >
RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones >
Articles de revista >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/1076

Arxiu Descripció MidaFormat
charaterization dynamics power01353548.pdf1,07 MBAdobe PDFThumbnail
Veure/Obrir

Citació: Girbau, D.; Lázaro, A.; Pradell, L. Characterization of dynamics and power handling of RF MEMS using vector measurement techniques. IEEE Transactions on microwave theory and techniques, vol. 52, núm. 11, p. 2627-2633.
Títol: Characterization of dynamics and power handling of RF MEMS using vector measurement techniques
Autor: Girbau Sala, David Veure Producció científica UPC; Lázaro Guillén, Antoni Veure Producció científica UPC; Pradell i Cara, Lluís Veure Producció científica UPC
Editorial: IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Data: 2004
Tipus de document: Article
Resum: This paper proposes a new method to measure dynamics and power handling of RF microelectromechanical systems (MEMS) devices based on a mobile membrane. The method uses in-phase/quadrature demodulation of an RF signal proportional to the reflection coefficient of the measured device, which contains information of its mechanical properties, such as actuation and release times and instantaneous position of the mobile membrane. Both one-port (capacitors) and two-port devices (switches and extended tuning-range capacitors) can be measured. Its main advantage is the capability of obtaining information from both magnitude and phase variations of the device reflection coefficient to characterize its dynamics and power handling. It is shown that detecting phase is advantageous in high quality factor capacitors, where the magnitude of the reflection coefficient is nearly constant for any position of the mobile membrane. Open-short-load calibration of the system is provided in order to obtain absolute measurements, which are necessary for power-handling characterization. The performances of the proposed method are demonstrated by comparison to systems based on detection of the magnitude of the reflection coefficient. A MEMS capacitor is characterized in terms of dynamics-actuation and release times, and mechanical resonance frequency and in terms of power handling-membrane instantaneous position and phase and tuning range variation.
ISSN: 0018-9480
URI: http://hdl.handle.net/2117/1076
Apareix a les col·leccions:RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones. Articles de revista
Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions. Articles de revista
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius