DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/10485

Arxiu Descripció MidaFormat
Angel_Tarragona_Template.pdfAbstract794,97 kBAdobe PDFThumbnail
Veure/Obrir

Citació: Hernandez, D. [et al.]. Template fabrication of 3D metallic microstructures by electrochemical etching and electroplanting. A: Encuentro Franco-Español de Química y Física del Estado Sólido. "VI Encuentro Franco-Español de Química y Física del Estado Sólido". Tarragona: 2010.
Títol: Template fabrication of 3D metallic microstructures by electrochemical etching and electroplanting
Autor: Hernández Díaz, David Veure Producció científica UPC; Lange, Diego; Todorov Trifonov, Trifon Veure Producció científica UPC; Garin Escriva, Moises Veure Producció científica UPC; García Molina, Francisco Miguel Veure Producció científica UPC; Rodríguez Martínez, Ángel Veure Producció científica UPC; Alcubilla González, Ramón Veure Producció científica UPC
Data: 2010
Tipus de document: Conference report
Resum: In this work, we show that macroporous silicon consisting of periodic arrays of etched pores is a feasible alternative for synthesis of 2D and 3d metallic microstructures due to its flexibility in the definition of complex geometries bulk. In addition macroporous silicon features full three-dimensionality, well controlled pore distribution and growth, and scalable dimensions (0.5-100 μm). We present here the fabrication of 3D Ni micro-structures by electroplating of macroporous silicon templates. The given approach can be applied for depositions of different metals and in more complicated template-structures.
URI: http://hdl.handle.net/2117/10485
Apareix a les col·leccions:MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies. Ponències/Comunicacions de congressos
Departament d'Enginyeria Electrònica. Ponències/Comunicacions de congressos
Altres. Enviament des de DRAC
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius