Control of MEMS vibration modes with pulsed digital Oscillators. Part II: simulation and experimental results
Visualitza/Obre
Cita com:
hdl:2117/10266
Tipus de documentArticle
Data publicació2010-08
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This paper extends our previous work on the selective
excitation of mechanical vibration modes in MEMS devices using
pulsed digital oscillators (PDOs). It begins by presenting extensive
simulation results using the set of iterative maps that model the
system and showing that it is possible to activate two or three spatial
modes (resonances) of the mechanical structure with a PDO.
The second part of this paper presents experimental results corroborating
the theory and simulation results. It is shown that it is
possible to separately excite vibration modes of the device by setting
a few parameters of the PDO structure such as the sampling
frequency and the sign of the feedback loop.
CitacióRicart, J. [et al.]. Control of MEMS vibration modes with pulsed digital Oscillators. Part II: simulation and experimental results. "IEEE transactions on circuits and systems I: regular papers", Agost 2010, vol. 57, núm. 8, p. 1879-1890.
ISSN1549-8328
Versió de l'editorhttp://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=5427094
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
ControlMEMS.pdf | 903,1Kb | Visualitza/Obre |