Exploració per autor "Fargas Marquès, A."

Ara es mostren els items 1-1 de 1

    • Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. 

      Costa Castelló, Ramon; Shkel, A.M.; Fargas Marquès, A. (Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials, 2005-09)
      Report de recerca
      Accés obert
      Most of MEMS devices are actuated using electrostatic forces. Parallel or lateral plate actuators are the types commonly used. Nevertheless, electrostatic actuation has some limitations due to its non-linear nature. This ...